東京エレクトロン 宮城 10

254 ：名無しさん＠お腹いっぱい。：2024/03/30(土) 20:37:56.48 ID:SVCHm+6w.net

イットリウムを含有した上部電極で8000RFhは寿命伸ばせる目途ついてるから
２年間はノーメンテナンスで行ける
あとは、俺が提案した三周波RF電源をどこまで生かせるか？　が勝負だな