ソニー、CMOSイメージセンサーの感度性能を8割向上させる技術をネイチャー誌で発表 [615284227]

( ● ´ ー｀ ● ) はスバラシイ

Sony Enhances IR Sensitivity by 80% with Pyramidal Structure

ソニーは「ネイチャー誌にオープンアクセス論文を公開する画素を捕捉回折光をCMOSイメージセンサのIR感度増強を
　

SOZO横河、イタルー・オシヤーマ、はるみ池田ヨシキ・エビコ、トモヤッキ・ハイラーノ、シュグル・サイート、隆Oinoue、義也萩本＆隼人岩本によります」。要旨：

「結晶シリコン（c-Si）とディープトレンチアイソレーション（DTI）上の
2次元回折ピラミッドアレイ構造（IPA）を用いた裏面照射CMOSイメージセンサ（BI-CIS）のIR感度向上について報告する。）
... 400nmピッチのIPAを含む1.2μm四方のピクセルサイズを有するプロトタイプのBI-CISサンプルは、平坦な表面を有する基準サンプルと比較して、
λ= 850nmで80％の感度向上を示す。これは、IPAによる回折と画素境界での全反射によるものである。"
この論文の結論は次のとおりです。

「光トラッピングピクセル技術のためのc-Si表面上のIPAを備えた新しいBI-CISが提案され、プロトタイプの結果が実証されています」
分光測定とデモ画像の両方が、 400nmピッチのIPA表面およびDTIを有するCISは、3μm厚のc-Si光検出器の850nmで30％以上のQEに相当する感度の80％の改善を示している。
さらに、熱雑音の劣化を最小限に抑えるために表面パッシベーションを制御することが重要であり、
ピクセルアイソレーションをさらに向上させて横方向のクロストークをできるだけ小さくすることが重要です」と述べています。

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https://2.bp.blogspot.com/-ZQMkf1qmk8M/WUmDYGHAg-I/AAAAAAAASL4/4jLImnXEa5AIcfFqrx2eLuGrr5z-oN6DgCLcBGAs/s1600/Sony%2BIR%2BEnhancement-3.JPG

↓記事の原文
http://image-sensors-world.blogspot.jp/2017/06/sony-enhances-ir-sensitivity-by-80-with.html?m=1